摘要： N₂流量對CrAlYN涂層的結(jié)構(gòu)和性能影響較大，因此，本文系統(tǒng)研究了N₂流量對CrAlYN涂層結(jié)構(gòu)、力學及熱穩(wěn)定性的影響。結(jié)果表明，當N₂流量從23 mL/min增大到38 mL/min時，涂層中氮原子含量從26.45 at.%增加到52.20 at.%。當N₂流量為33 mL/min時，涂層中氮含量為49.00 at.%，元素組成符合化學計量比，涂層具有最高的硬度和抗... （共6頁）