摘要： 為設(shè)計一款高性能電容式六維力傳感器，結(jié)合T型梁和十字型雙直梁的優(yōu)點(diǎn)，構(gòu)建了一種雙L型結(jié)構(gòu)彈性梁，傳感器轉(zhuǎn)換元件采用差動結(jié)構(gòu)平行極板電容器以降低傳感器的測量誤差，以轉(zhuǎn)換矩陣的條件數(shù)為目標(biāo)函數(shù)，應(yīng)用粒子群算法與有限元仿真相結(jié)合的方法對該傳感器的結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計，得到最優(yōu)結(jié)構(gòu)參數(shù)后進(jìn)行仿真，結(jié)果顯示該構(gòu)型的電容式六維力傳感器仿真精度為0.425 8%。最后對該傳感器進(jìn)行加工與標(biāo)定... （共7頁）