摘要： 碳化硅是空間光學(xué)元件理想材料之一，但其磨削亞表面會產(chǎn)生較嚴(yán)重的面損傷，影響光學(xué)元件生產(chǎn)效率、性能發(fā)揮及使用壽命。為了更好地控制碳化硅超聲磨削亞表面損傷，開展了超聲輔助磨削數(shù)值仿真和試驗研究，建立磨粒的運動軌跡方程，研究加工參數(shù)對運動學(xué)特性的影響規(guī)律，分析超聲振動輔助對磨削過程材料去除的影響機(jī)理，討論加工參數(shù)影響下的碳化硅超聲磨削去除機(jī)理和亞表面損傷特征，建立亞表面損傷深度預(yù)測模... （共11頁）