摘要： 采用有限元軟件Abaqus建立金剛石錐形磨粒微切削碳化硅晶體的模型，通過(guò)預(yù)仿真模型確定切削深度和切削速度的選擇范圍，分析影響切削力的主、次要因素，研究單一切削參數(shù)對(duì)碳化硅晶體切削效果的影響；并借助赫茲接觸理論，驗(yàn)證加載力對(duì)摩擦力、切削邊緣形貌、切削深度的影響。結(jié)果表明：切削深度是影響切削力的顯著因素，預(yù)仿真模型確定的切削深度不超過(guò)1.50μm；碳化硅晶體切削的最優(yōu)方案為切削深度... （共13頁(yè)）