摘要： 設(shè)計(jì)了一種基于氮化鋁(AlN)蘭姆波諧振器和超表面的諧振式熱紅外探測(cè)器，基于超表面的吸收器用于對(duì)特定波長紅外輻射的吸收，再利用AlN蘭姆波諧振器的溫度頻率效應(yīng)檢測(cè)紅外輻射。首先，對(duì)蘭姆波諧振器的電極周期、電極寬度、AlN薄膜厚度和支撐軸尺寸進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，設(shè)計(jì)了電極周期分別為12μm和1.2μm的諧振器結(jié)構(gòu)，其工作頻率分別為365 MHz和2 544 MHz。其次，設(shè)計(jì)了方形結(jié)構(gòu)... （共8頁）