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              壓電復(fù)合薄膜的SAW器件雜波抑制及仿真方法
              
				
              
					 壓電與聲光 
					  頁數(shù)： 7  2024-08-20 
				
              
				
              
					摘要： 針對任意復(fù)雜膜系結(jié)構(gòu)壓電復(fù)合薄膜聲表面波(SAW)器件橫向雜波抑制及精確快速仿真方法，從數(shù)學(xué)上嚴格分析推導(dǎo)了有限長結(jié)構(gòu)分層級聯(lián)理論和色散2D-COM模型，可精確快速地計算壓電復(fù)合薄膜SAW器件傳播方向及孔徑方向結(jié)構(gòu)對雜波模式的影響，并通過色散2D-COM模型對SAW器件雜波抑制進行綜合分析。通過對41°Y-X LiNbO3/SiO2/Si＿poly/Si(111)復(fù)合襯底S... （共7頁） 
               
              
					
					
				
              
				
				
				
				
              
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