儀器介紹

　　這是用來檢測材料的一種儀器，即是利用離子束把待分析的材料從表面濺射出來，然后再檢測出離子組分并進行質量分析。

　　它是對微粒進行同位素分析的有力工具，但它不能直接分辨同量異位數和確認元素，也難以高效率地在環(huán)境樣品中尋找特定成分的微粒。

　　質譜原理

　　Secondary-ion-mass spectroscope （SIMS），是利用質譜法分析初級離子入射靶面后，濺射產生的二次離子而獲取材料表面信息的一種方法。二次離子質譜可以分析包括氫在內的全部元素，并能給出同位素的信息、分析化合物組分和分子結構。二次離子質譜具有很高的靈敏度，可達到ppm甚至ppb的量級，還可以進行微區(qū)成分成像和深度剖面分析。