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              單晶爐 又名:單晶硅生長爐

              • 單晶爐
              單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備。

                一、單晶爐的構(gòu)成編輯提拉頭:主要由安裝盤 減速機 籽晶腔 劃線環(huán) 電機 磁流體 籽晶稱重頭 軟波紋管等其他部件組成

                1.副室:主要是副室筒以及上下法蘭組成

                2.爐蓋:副室連接法蘭,翻板閥,觀察窗 抽真空管道 組成

                3.爐筒:包括取光孔

                4.下爐筒:包括抽真空管道

                5.底座機架:全鑄鐵機架和底座

                6.坩堝下傳動裝置:主要由磁流體 電機 坩堝支撐軸 減速機 軟波紋管 立柱 上下傳動支撐架 導(dǎo)軌 等部件組成

                7.分水器已經(jīng)水路布置:包括分水器,進水水管,若干膠管 水管卡套等

                8.氬氣管道布置:質(zhì)量流量計 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個壓力探測器 高密封性卡套 等部件

                9.真空泵以及真空除塵裝置:油壓真空泵 水環(huán)真空泵 過濾器 真空管道 硬波紋管等

                10.電源以及電控柜:電源柜 濾波柜 控制柜 以及連接線

                二、單晶爐的定義

                單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備。

                三、購買技術(shù)主要要求

                1.單晶爐裝料量(單臺機產(chǎn)能多少)

                2. 能拉多長、幾寸的硅棒

                3. 拉制晶棒的成品率是多少

                4.拉出硅棒品質(zhì)(少子壽命、電阻率、碳氧含量、位錯密度)

                5.設(shè)備制造工藝控制保證 6自動化控制程度 7設(shè)備主要關(guān)鍵部件的配置等 。

                四、單晶爐型號定義

                單晶爐型號有兩種命名方式,一種為投料量,一種為爐室直徑。比如85爐,是指主爐筒的直徑大小,120、150等型號是由裝料量來決定的

                五、單晶爐主要需要控制的方面

                1.晶體直徑(尺寸)

                2.溫度(功率控制)

                3.原料(硅料)

                4.泄漏率,氬氣質(zhì)量等


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